真空ポンプを使用する場合は、そのオイルに慣れておく必要があります。 ポンプの種類ごとに独自のオイル要件があり、オイルを検査して定期的に交換する必要があります。 これらのオイルには、炭化水素、シリコーン、および真空用途向けに特別に配合されたその他の種類があります。
真空ポンプオイルは、機械的な潤滑剤およびガス分子をトラップするための媒体として機能します。 化学的に安定しており、ほとんどのガスや材料に反応せず、蒸気圧が低くなっています。
すべての物質は沸騰するか、そうでなければ分子を真空に流します。 時間の経過とともに、蒸気圧と呼ばれる圧力が発生し、真空を汚染します。 水などの一部の物質は真空中で大量に沸騰しますが、ガラスなどの一部の物質はほとんど沸騰しません。 クリーンな真空システムでは、オイルを含むすべての部品の蒸気圧が10 ^ -5トル以下である必要があります。
拡散真空ポンプは、加熱されたオイルスプレーでガス分子を収集します。 低圧からのみポンプすることを目的としています。 この真空ポンプは、用途に応じて、シリコーン、炭化水素、または過フッ素化ポリエーテル（PFPE）オイルを使用します。
真空ポンプのオイルの有効寿命は、オイルの種類、使用頻度、および使用によって生じる汚染物質によって異なります。 機械式ポンプには、オイルの状態をチェックするための検査ウィンドウがあります。 暗褐色の場合は、オイルを交換する必要があります。