Si vous utilisez une pompe à vide, vous devez vous familiariser avec son huile. Chaque type de pompe a ses propres exigences en matière d'huile, et l'huile doit être inspectée et remplacée périodiquement. Ces huiles se présentent sous forme d'hydrocarbures, de silicone et d'autres variétés spécialement formulées pour les applications sous vide.
L'huile de pompe à vide sert de lubrifiant mécanique et de moyen de piéger les molécules de gaz. Il est chimiquement stable, ne réagit pas à la plupart des gaz et matériaux et a une faible pression de vapeur.
Toutes les substances bouilliront ou rejetteront des molécules dans le vide. Au fil du temps, une pression s'accumulera, appelée pression de vapeur, contaminant le vide. Certaines substances, comme l'eau, bouillent beaucoup dans le vide, d'autres, comme le verre, bouillent très peu. Un système d'aspiration propre a besoin que toutes les pièces, y compris l'huile, aient des pressions de vapeur de 10^-5 torr ou moins.
Une pompe à vide à diffusion recueille les molécules de gaz dans un spray d'huile chauffé. Il est destiné à pomper à partir de basses pressions uniquement. Cette pompe à vide utilise une huile silicone, hydrocarbonée ou polyéther perfluoré (PFPE), selon l'application.
La durée de vie utile de l'huile d'une pompe à vide dépend du type d'huile, de la fréquence d'utilisation et des contaminants qui en résultent. Une pompe mécanique a une fenêtre d'inspection pour vérifier l'état de l'huile. S'il est brun foncé, l'huile doit être remplacée.