Vaakumpumba kasutamisel peate tutvuma selle õliga. Igal pumbatüübil on oma nõuded õlile ning õli tuleb kontrollida ja perioodiliselt asendada. Nendes õlides on süsivesinikke, silikooni ja muid sorte, mis on spetsiaalselt ette nähtud vaakumrakenduste jaoks.
Vaakumpumbaõli toimib mehaanilise määrdeainena ja keskkonnana gaasimolekulide püüdmiseks. See on keemiliselt stabiilne, ei reageeri enamusele gaasidele ja materjalidele ning sellel on madal aururõhk.
Kõik ained keevad või eraldavad molekulid muul viisil vaakumisse. Aja jooksul tekib rõhk, mida nimetatakse aururõhuks, mis saastab vaakumit. Mõned ained, nagu vesi, keevad palju vaakumis, teised, näiteks klaas, keevad väga vähe. Puhas vaakumsüsteem vajab kõigi osade, kaasa arvatud õli, aururõhku 10 ^ -5 torr või vähem.
Difusioonvaakumpump kogub gaasimolekulid kuumutatud õlipihustisse. See on ette nähtud pumpamiseks ainult madalast rõhust. See vaakumpump kasutab olenevalt rakendusest silikooni, süsivesinike või perfluoritud polüeetri (PFPE) õli.
Vaakumpumba õli kasulik eluiga sõltub õli liigist, selle kasutamise sagedusest ja kasutamisel tekkivatest saasteainetest. Mehaanilisel pumbal on õli seisundi kontrollimiseks ülevaatusaken. Kui see on tumepruun, tuleb õli asendada.
