Bir vakum pompası kullanıyorsanız, yağını tanımanız gerekir. Her pompa tipinin yağ için kendi gereksinimleri vardır ve yağın kontrol edilmesi ve periyodik olarak değiştirilmesi gerekir. Bu yağlar hidrokarbon, silikon ve vakum uygulamaları için özel olarak formüle edilmiş diğer çeşitlerde gelir.
Vakum pompası yağı, mekanik bir yağlayıcı ve gaz moleküllerini yakalamak için bir ortam görevi görür. Kimyasal olarak kararlıdır, çoğu gaza ve malzemeye karşı tepkisizdir ve düşük buhar basıncına sahiptir.
Tüm maddeler kaynar veya başka bir şekilde molekülleri bir vakuma atar. Zamanla, buhar basıncı adı verilen ve vakumu kirleten bir basınç oluşacaktır. Su gibi bazı maddeler vakumda çok kaynarken, cam gibi diğerleri çok az kaynar. Temiz bir vakum sistemi, yağ dahil tüm parçaların 10^-5 torr veya daha düşük buhar basınçlarına sahip olmasını gerektirir.
Bir difüzyon vakum pompası, gaz moleküllerini ısıtılmış bir yağ spreyinde toplar. Sadece düşük basınçlardan pompalamak içindir. Bu vakum pompası, uygulamaya bağlı olarak silikon, hidrokarbon veya perflorlu polieter (PFPE) yağı kullanır.
Bir vakum pompası yağının faydalı ömrü, yağın türüne, ne sıklıkta kullanıldığına ve kullanımdan kaynaklanan kirleticilere bağlıdır. Mekanik bir pompa, yağın durumunu kontrol etmek için bir inceleme penceresine sahiptir. Koyu kahverengi ise, yağın değiştirilmesi gerekir.