หากคุณใช้ปั๊มสุญญากาศ คุณต้องทำความคุ้นเคยกับน้ำมันเครื่อง ปั๊มแต่ละประเภทมีข้อกำหนดสำหรับน้ำมันของตัวเอง และจำเป็นต้องตรวจสอบและเปลี่ยนน้ำมันเป็นระยะ น้ำมันเหล่านี้มีทั้งไฮโดรคาร์บอน ซิลิโคน และพันธุ์อื่นๆ ที่คิดค้นขึ้นเป็นพิเศษสำหรับการใช้งานในสุญญากาศ
น้ำมันปั๊มสุญญากาศทำหน้าที่เป็นสารหล่อลื่นเชิงกลและเป็นตัวกลางในการดักจับโมเลกุลของแก๊ส มีความคงตัวทางเคมี ไม่ทำปฏิกิริยากับก๊าซและวัสดุส่วนใหญ่ และมีความดันไอต่ำ
สารทั้งหมดจะเดือดหรือทำให้โมเลกุลแตกตัวเป็นสุญญากาศ เมื่อเวลาผ่านไป ความดันจะก่อตัวขึ้น เรียกว่า ความดันไอ ซึ่งทำให้เกิดการปนเปื้อนในสุญญากาศ สารบางอย่าง เช่น น้ำ ต้มมากในสุญญากาศ สารอื่นๆ เช่น แก้ว ต้มน้อยมาก ระบบสุญญากาศที่สะอาดต้องการทุกส่วน รวมทั้งน้ำมัน เพื่อให้มีแรงดันไอที่ 10^-5 ธอร์หรือต่ำกว่า
ปั๊มสุญญากาศแบบกระจายจะรวบรวมโมเลกุลของแก๊สในสเปรย์น้ำมันที่ให้ความร้อน มีไว้เพื่อสูบจากแรงดันต่ำเท่านั้น ปั๊มสุญญากาศนี้ใช้น้ำมันซิลิโคน ไฮโดรคาร์บอน หรือเพอร์ฟลูออริเนตพอลิอีเทอร์ (PFPE) ขึ้นอยู่กับการใช้งาน
อายุการใช้งานของน้ำมันปั๊มสุญญากาศขึ้นอยู่กับชนิดของน้ำมัน ความถี่ในการใช้งาน และสิ่งปนเปื้อนที่เกิดจากการใช้งาน ปั๊มเครื่องกลมีหน้าต่างการตรวจสอบเพื่อตรวจสอบสภาพของน้ำมัน ถ้าเป็นสีน้ำตาลเข้ม ต้องเปลี่ยนน้ำมัน