Če uporabljate vakuumsko črpalko, se morate seznaniti z njenim oljem. Vsak tip črpalke ima svoje zahteve glede olja, olje pa je treba pregledati in redno menjavati. Ta olja so na voljo v ogljikovodikih, silikonih in drugih sortah, posebej oblikovanih za uporabo v vakuumu.
Olje vakuumske črpalke služi kot mehansko mazivo in medij za zajemanje molekul plina. Je kemično stabilna, nereaktivna za večino plinov in materialov in ima nizek parni tlak.
Vse snovi bodo zavrele ali drugače odvrgle molekule v vakuum. Sčasoma se bo povečal tlak, imenovan parni tlak, ki bo onesnažil vakuum. Nekatere snovi, kot je voda, veliko vrejo v vakuumu, druge, na primer steklo, zavrejo zelo malo. Za čisti vakuumski sistem morajo vsi deli, vključno z oljem, imeti parni tlak 10 ^ -5 torr ali manj.
Difuzijska vakuumska črpalka zbira molekule plina v segretem oljnem razpršilcu. Namenjen je črpanju samo iz nizkih tlakov. Ta vakuumska črpalka uporablja silikonsko, ogljikovodikovo ali perfluorirano polieter (PFPE) olje, odvisno od uporabe.
Življenjska doba olja vakuumske črpalke je odvisna od vrste olja, pogostosti uporabe in onesnaževalcev, ki so posledica uporabe. Mehanska črpalka ima pregledno okno za preverjanje stanja olja. Če je temno rjave barve, je treba olje zamenjati.