Ha vákuumszivattyút használ, meg kell ismerkednie az olajjal. Minden szivattyútípusnak megvan a maga követelménye az olajra vonatkozóan, ezért az olajat ellenőrizni és rendszeresen cserélni kell. Ezek az olajok szénhidrogénekből, szilikonból és egyéb fajtákból állnak, amelyeket kifejezetten vákuum alkalmazásra készítettek.
A vákuumszivattyúolaj mechanikus kenőanyagként és közegként szolgál a gázmolekulák befogására. Kémiailag stabil, a legtöbb gázra és anyagra nem reagál, és alacsony a gőznyomása.
Minden anyag felforralja vagy más módon vákuumba bocsátja a molekulákat. Az idő múlásával nyomás keletkezik, az úgynevezett gőznyomás szennyezi a vákuumot. Egyes anyagok, például a víz, nagyon vákuumba forrnak, mások, mint az üveg, nagyon keveset forralnak. A tiszta vákuumrendszerhez minden alkatrészre, beleértve az olajat is, 10 ^ -5 torr vagy kisebb gőznyomás szükséges.
A diffúziós vákuumszivattyú a fűtött olajpermetben gyűjti össze a gázmolekulákat. Csak alacsony nyomásból történő szivattyúzásra szolgál. Ez a vákuumszivattyú az alkalmazástól függően szilikon, szénhidrogén vagy perfluorozott poliéter (PFPE) olajat használ.
A vákuumszivattyú olajának élettartama az olaj fajtájától, az alkalmazás gyakoriságától és a használat során keletkező szennyeződésektől függ. Egy mechanikus szivattyúnak van egy ellenőrző ablaka az olaj állapotának ellenőrzésére. Ha sötétbarna, akkor az olajat ki kell cserélni.