Jos käytät alipainepumppua, sinun on perehdyttävä sen öljyyn. Jokaisella pumpputyypillä on omat öljyvaatimuksensa, ja öljy on tarkastettava ja vaihdettava säännöllisesti. Näitä öljyjä on hiilivetyä, silikonia ja muita lajikkeita, jotka on erityisesti suunniteltu tyhjiösovelluksiin.
Tyhjiöpumppuöljy toimii mekaanisena voiteluaineena ja väliaineena kaasumolekyylien vangitsemiseksi. Se on kemiallisesti stabiili, reagoimaton useimpiin kaasuihin ja materiaaleihin ja sillä on matala höyrynpaine.
Kaikki aineet kiehuvat tai muuten irtoavat molekyylit tyhjössä. Ajan myötä paine, jota kutsutaan höyrynpaineeksi, saastuttaa tyhjiön. Jotkut aineet, kuten vesi, kiehuvat paljon tyhjiöön, toiset, kuten lasi, kiehuvat hyvin vähän. Puhdas tyhjiöjärjestelmä tarvitsee kaikkien osien, öljy mukaan lukien, höyrynpaineen 10 ^ -5 torria tai vähemmän.
Diffuusiotyhjiöpumppu kerää kaasumolekyylit kuumennettuun öljysumutteeseen. Se on tarkoitettu pumppaamaan vain matalista paineista. Tämä tyhjiöpumppu käyttää silikoni-, hiilivety- tai perfluorattua polyeetteri (PFPE) -öljyä sovelluksesta riippuen.
Tyhjiöpumpun öljyn käyttöikä riippuu öljyn tyypistä, kuinka usein sitä käytetään, ja käytöstä johtuvista epäpuhtauksista. Mekaanisessa pumpussa on tarkastusikkuna öljyn kunnon tarkistamiseksi. Jos öljy on tummanruskea, öljy on vaihdettava.