Hvis du bruger en vakuumpumpe, skal du gøre dig bekendt med dens olie. Hver pumpetype har sine egne krav til olie, og olien skal inspiceres og udskiftes regelmæssigt. Disse olier kommer i kulbrinte, silikone og andre sorter, der er specielt formuleret til vakuumapplikationer.
Vakuumpumpeolie fungerer som et mekanisk smøremiddel og et medium til fangst af gasmolekyler. Det er kemisk stabilt, ikke reaktivt for de fleste gasser og materialer og har et lavt damptryk.
Alle stoffer koger eller på anden måde kaster molekyler i et vakuum. Over tid vil der opbygges et tryk, kaldet damptryk, der forurener vakuumet. Nogle stoffer, som vand, koger meget i et vakuum, andre som glas koger meget lidt. Et rent vakuumsystem har brug for, at alle dele, inklusive olien, har damptryk på 10 ^ -5 torr eller lavere.
En diffusionsvakuumpumpe samler gasmolekyler i en opvarmet oliespray. Det er kun beregnet til at pumpe fra lavt tryk. Denne vakuumpumpe bruger en silikone-, carbonhydrid- eller perfluoreret polyetherolie (PFPE), afhængigt af anvendelsen.
Den brugbare levetid for en vakuumpumpes olie afhænger af typen af olie, hvor ofte den bruges og de forurenende stoffer, der skyldes brug. En mekanisk pumpe har et inspektionsvindue for at kontrollere oliens tilstand. Hvis det er mørkebrunt, skal olien udskiftes.