Ако користите вакуумску пумпу, морате се упознати са њеним уљем. Свака врста пумпе има своје захтеве за уљем и уље треба прегледати и периодично замењивати. Ова уља долазе у угљоводоницима, силиконима и другим сортама специјално формулисаним за примену у вакууму.
Уље вакуумске пумпе служи као механичко мазиво и медијум за задржавање молекула гаса. Хемијски је стабилан, нереагује на већину гасова и материјала и има низак притисак паре.
Све супстанце ће кључати или ће на неки други начин бацати молекуле у вакуум. Временом ће се створити притисак, који се назива притисак паре, контаминирајући вакуум. Неке супстанце, попут воде, кључају пуно у вакууму, друге, попут стакла, кључају врло мало. Чистом вакуумском систему требају сви делови, укључујући уље, да имају притисак паре 10 ^ -5 торр или нижи.
Дифузијска вакуум пумпа сакупља молекуле гаса у загрејаном уљном спреју. Намењено је пумпању само из ниског притиска. Ова вакуумска пумпа користи силиконско, угљоводонично или перфлуорисано полиетер уље (ПФПЕ), у зависности од примене.
Корисни век трајања уља вакуумске пумпе зависи од врсте уља, колико се често користи и загађивача који настају услед употребе. Механичка пумпа има инспекцијски прозор за проверу стања уља. Ако је тамно браон, уље треба заменити.