Se usi una pompa a vuoto, devi familiarizzare con il suo olio. Ogni tipo di pompa ha i propri requisiti per l'olio e l'olio deve essere ispezionato e sostituito periodicamente. Questi oli sono disponibili in idrocarburi, siliconi e altre varietà appositamente formulate per applicazioni sotto vuoto.
L'olio per pompe per vuoto funge da lubrificante meccanico e da mezzo per intrappolare le molecole di gas. È chimicamente stabile, non reattivo alla maggior parte dei gas e dei materiali e ha una bassa pressione di vapore.
Tutte le sostanze bolliranno o diffonderanno molecole nel vuoto. Nel tempo, si formerà una pressione, chiamata pressione di vapore, che contamina il vuoto. Alcune sostanze, come l'acqua, bollono molto nel vuoto, altre, come il vetro, bollono molto poco. Un sistema di vuoto pulito richiede che tutte le parti, compreso l'olio, abbiano pressioni di vapore di 10^-5 torr o inferiori.
Una pompa per vuoto a diffusione raccoglie le molecole di gas in uno spray d'olio riscaldato. È pensato per pompare solo da basse pressioni. Questa pompa per vuoto utilizza un olio siliconico, idrocarburico o polietere perfluorurato (PFPE), a seconda dell'applicazione.
La durata utile dell'olio di una pompa per vuoto dipende dal tipo di olio, dalla frequenza con cui viene utilizzato e dai contaminanti che risultano dall'uso. Una pompa meccanica ha una finestra di ispezione per controllare le condizioni dell'olio. Se è marrone scuro, l'olio deve essere sostituito.