Ako koristite vakuumsku pumpu, morate se upoznati s njezinim uljem. Svaka vrsta pumpe ima svoje zahtjeve za uljem, a ulje treba pregledavati i povremeno zamjenjivati. Ova ulja dolaze u ugljikovodiku, silikonu i drugim sortama posebno formuliranim za primjenu u vakuumu.
Ulje vakuumske pumpe služi kao mehaničko mazivo i medij za hvatanje molekula plina. Kemijski je stabilan, nereaktivan je na većinu plinova i materijala i ima nizak tlak pare.
Sve će tvari zakipjeti ili će na drugi način bacati molekule u vakuum. S vremenom će se stvoriti tlak, koji se naziva tlak pare, kontaminirajući vakuum. Neke tvari, poput vode, kipu puno u vakuumu, druge, poput stakla, kipe vrlo malo. Čist vakuumski sustav treba da svi dijelovi, uključujući ulje, imaju tlak pare od 10 ^ -5 torr ili niži.
Difuzijska vakuumska pumpa prikuplja molekule plina u zagrijanom uljnom spreju. Namijenjeno je crpljenju samo iz niskog tlaka. Ova vakuumska pumpa koristi silikonsko, ugljikovodično ili perfluorirano polietersko ulje (PFPE), ovisno o primjeni.
Korisni vijek trajanja ulja vakuumske pumpe ovisi o vrsti ulja, koliko se često koristi i onečišćenjima koja proizlaze iz uporabe. Mehanička pumpa ima inspekcijski prozor za provjeru stanja ulja. Ako je tamnosmeđe, ulje treba zamijeniti.